Parylene(中文稱:派瑞林、聚對(duì)二甲苯)是對(duì)二甲苯聚合物的商品名，是美國Union Carbide Co.公司在六十年代推出的一種氣相沉積高分子聚合物材料。

Parylene Coating派瑞林涂敷技術(shù)，采用獨(dú)特的真空氣相沉積工藝(CVD技術(shù))，由活性小分子在基材表面沉積出完全敷形的聚合物薄膜涂層(通常稱為保形涂敷、共形涂敷、Conformal Coating)，它能涂敷到各種形狀的表面，包括尖銳的棱邊、裂縫里和內(nèi)表面，號(hào)稱“無孔不入”。這種室溫沉積制備的0.1-100微米薄膜涂層，厚度均勻、致密無針孔、透明無應(yīng)力、不含助劑、不損傷工件、有優(yōu)異的電絕緣性和防護(hù)性，也有很好的物理機(jī)械性能，是一種堅(jiān)韌、自潤滑性和良好的均勻性的高分子涂敷材料, 甚至被業(yè)內(nèi)稱為當(dāng)今世界頂級(jí)的防潮、防霉、防腐、防鹽霧的特殊防護(hù)涂敷。

Parylene涂敷技術(shù)，可廣泛應(yīng)用在航天、航空、軍工、電子、生物醫(yī)療、控制系統(tǒng)、文物保護(hù)、納米材料和磁性材料等諸多領(lǐng)域。也包括很多新的用途，特別是傳統(tǒng)的材料不能滿足特定要求的一些場合，它的應(yīng)用能解決一些傳統(tǒng)材料所不能解決的技術(shù)問題。

目前，制備Parylene薄膜的氣相沉積設(shè)備，通常分為四個(gè)部分，分別為蒸發(fā)室，高溫裂解室，高分子沉積聚合室，真空冷阱室。它們是一個(gè)連續(xù)的過程，四個(gè)腔室相互連通、相輔相成，通過與真空冷阱室連接的真空泵調(diào)節(jié)各個(gè)腔室的真空度，在各個(gè)腔室之間之問形成壓差，使parylene單體氣體流動(dòng)。最后由冷阱來完成剩余的parylene單體的收集和泵的保護(hù)。

在Parylene(派瑞林)真空涂覆工藝中，超低溫冷阱是必不可少的配套設(shè)備，一般選用-100℃或-120℃冷阱，可分為鍋式冷阱和棒式冷阱。冷阱的尺寸、安裝方式可以根據(jù)用戶需要單獨(dú)定制，以達(dá)到最優(yōu)的捕集效率。在Parylene涂敷領(lǐng)域，長流儀器具備豐富的配套經(jīng)驗(yàn)和解決方案，提供專業(yè)的定制服務(wù)，使每一臺(tái)定制產(chǎn)品，都達(dá)到標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品完全相同的質(zhì)量水平。

長流儀器長期深耕于超低溫制冷技術(shù)，自主研發(fā)和生產(chǎn)VaporCold系列超低溫冷凍機(jī)(冷阱)，完美替代PolyCold低溫設(shè)備，配套應(yīng)用于Parylene真空涂敷設(shè)備，長期為國內(nèi)外Parylene(派瑞林)真空設(shè)備廠商配套提供-100℃、-120℃、-135℃超低溫冷阱。

近二十年來，VaporCold系列-100℃真空涂敷冷阱、-120℃超低溫冷凍機(jī)、-135℃水汽捕集器、-150℃系列超低溫冰箱和金屬深冷處理箱、-120℃至-170℃超低溫?zé)岢猎囼?yàn)機(jī)組，多次中標(biāo)中國科學(xué)院、中國火箭研究院、中國工程物理研究院核心項(xiàng)目，為航天軍工、生物制藥、醫(yī)療衛(wèi)生、真空鍍膜、光電子、太陽能、遠(yuǎn)洋漁業(yè)、高?？蒲小⒔饘偌庸?、環(huán)境監(jiān)測等項(xiàng)目提供-100℃至-170℃的超低溫設(shè)備。