在使用油擴(kuò)散泵或分子泵的高真空環(huán)境中,都存在著一定的殘余氣體,80%以上是水蒸汽、油蒸氣及其它高沸點(diǎn)的氣體,但機(jī)械泵抽除殘余氣體的能力低、時(shí)間長(zhǎng)。而且殘余氣體還是工件的污染源,影響產(chǎn)品的產(chǎn)量和質(zhì)量。
水蒸氣、油蒸氣是真空鍍膜領(lǐng)域及高真空獲得領(lǐng)域的主要危害氣體。
(1)由于水蒸氣和油蒸氣的存在,導(dǎo)致抽真空時(shí)間變長(zhǎng),真空系統(tǒng)無(wú)法迅速達(dá)到目標(biāo)真空度,生產(chǎn)效率下降;所需真空度越高,環(huán)境濕度越大,影響越明顯。
(2)同時(shí),水蒸氣,油蒸氣的存在,會(huì)導(dǎo)致膜層牢固度下降,無(wú)法多層鍍膜,顏色不均一等影響產(chǎn)品質(zhì)量現(xiàn)象發(fā)生。
(3)水蒸氣在某些條件下還會(huì)電離,產(chǎn)生氧氣,使靶材氧化,導(dǎo)致鍍膜顏色發(fā)生變化。
深冷水汽捕集泵,是解決以上問(wèn)題的上佳選擇。
深冷水汽捕集泵的工作原理,是依照麥森納捕集原理(Principle of Meissner trapping),使水汽分子在低溫盤(pán)管(Cryocoil)的超低溫表面上凝結(jié),有效地吸附水蒸氣,達(dá)到捕集水汽的目的。
深冷水汽捕集泵的具體應(yīng)用:將一個(gè)-100℃以下的低溫盤(pán)管,放置在真空室中或油擴(kuò)散泵的泵口,通過(guò)其表面的低溫冷凝效應(yīng),迅速捕集真空系統(tǒng)的殘余氣體,從而大大縮短抽真空的時(shí)間(可縮短60-90%的抽氣時(shí)間),獲得潔凈的真空環(huán)境(真空度可提高半個(gè)數(shù)量級(jí),達(dá)到10-8 Torr、10-5 Pa)。
在實(shí)際應(yīng)用中,根據(jù)低溫表面所放置的位置不同,一般可以分為兩類(lèi) :
A、低溫盤(pán)管(水汽捕集器)
低溫盤(pán)管經(jīng)常被安裝在高閥與真空腔之間或真空腔內(nèi)、卷繞鍍膜上下室內(nèi)等部位。非常適用于塑料低溫鍍膜、卷繞鍍膜等被鍍膜材料放氣量較大的場(chǎng)合。低溫盤(pán)管需要有加熱除霜功能,使盤(pán)管在每次破真空之前恢復(fù)到常溫,避免低溫盤(pán)管從大氣中吸收大量的水汽而結(jié)霜,影響下一個(gè)產(chǎn)品周期的抽真空時(shí)間。
B、低溫?fù)醢澹ɡ溱澹?/strong>
放置在油擴(kuò)散泵的泵口、高閥以下,主要功能是防止油擴(kuò)散泵的油氣返流,同時(shí)也可以加快抽速、提高真空度。由于系統(tǒng)處于真空狀態(tài),無(wú)需除霜功能。
根據(jù)需要,低溫盤(pán)管和低溫?fù)醢?,可以分別安裝,也可以同時(shí)安裝。
VaporCold水汽捕集泵的主要作用:
縮短抽真空時(shí)間 提高鍍膜品質(zhì)
VaporCold水汽捕集泵的主要特點(diǎn):
1、快速捕集水汽、油氣、可縮短抽真空時(shí)間60-90%;
2、提高鍍膜質(zhì)量,防返油、不脫落、顏色純正;
3、降溫快,3分鐘內(nèi)制冷到-100℃,最低可達(dá)-150℃;
4、升溫快,3分鐘熱氣除霜,迅速回溫;
5、制冷系統(tǒng)優(yōu)化設(shè)計(jì),3分鐘可再次降溫;
6、彩色觸摸屏與工業(yè)PLC組合,歷史記錄可查詢;
7、國(guó)際品牌制冷壓縮機(jī),環(huán)?;旌现评鋭?;
8、國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)接口,可設(shè)計(jì)為單路或兩路負(fù)載輸出;
9、單路或兩路負(fù)載入口溫度和出口溫度的顯示和記錄;
10、內(nèi)部溫度、水冷溫度、排氣溫度、排氣壓力的顯示和記錄;
11、除霜溫度自由設(shè)定,除霜結(jié)束后自動(dòng)提示;
12、壓縮機(jī)溫度過(guò)高、壓力過(guò)高報(bào)警保護(hù);
13、水冷不足、水溫過(guò)高報(bào)警保護(hù);
14、閥門(mén)箱前置,方便操作,避免冷凝水泄漏;
15、本地、遠(yuǎn)程自由轉(zhuǎn)換,便于機(jī)臺(tái)組合控制;
16、配置RS485通信接口,方便連接上位機(jī)。
長(zhǎng)流儀器研發(fā)生產(chǎn)的VaporCold -135℃深冷水汽捕集泵,采用成熟的核心技術(shù)、可靠的設(shè)計(jì)方案、進(jìn)口品牌制冷壓縮機(jī)及制冷配件、環(huán)?;旌现评鋭?、自動(dòng)復(fù)疊制冷。制冷速度快、效率高、溫度低、維護(hù)方便。其設(shè)計(jì)和制造與國(guó)際技術(shù)水平同步,性能指標(biāo)達(dá)到甚至超過(guò)同類(lèi)進(jìn)口機(jī)型,可實(shí)現(xiàn)對(duì)進(jìn)口機(jī)型的直接替換。
長(zhǎng)流儀器提供完整的水汽捕集方案,幫助客戶提高生產(chǎn)效率、減少生產(chǎn)費(fèi)用, 改進(jìn)制程表現(xiàn), 提高產(chǎn)品質(zhì)量和產(chǎn)量。