在Parylene真空涂敷設(shè)備上，鍍膜腔體與真空泵之間，需要低溫捕集器。如下圖。

常見的低溫捕集器有以下3種方式：

1）液氮冷阱，是最經(jīng)濟(jì)的低溫捕集方式，簡(jiǎn)單可靠，易于維護(hù)，費(fèi)用低。但是液氮的供應(yīng)受制約因素較多，另外在冷頭里灌注液氮，不太方便。

2）超低溫制冷機(jī)的冷頭，替換液氮冷阱，是最常見的低溫捕集方式。優(yōu)點(diǎn)是直接替代液氮方式，用戶容易理解和接受。缺點(diǎn)是冷頭與制冷機(jī)之間，有不可拆卸的低溫軟管，損失部分冷量，若是低溫狀態(tài)下移動(dòng)制冷機(jī)，容易損壞軟管，造成制冷劑泄漏。與真空系統(tǒng)裝配，占用空間較多。

3）超低溫制冷機(jī)的冷阱，替換液氮冷阱，是更合理的低溫捕集方式。將液氮冷頭和真空罐一起去掉，從鍍膜腔體的真空接口，采用真空軟管，連接到超低溫冷阱的真空接口，然后連到真空泵。超低溫冷阱與超低溫冷頭相比，更加簡(jiǎn)單可靠，安裝和維護(hù)更方便。

液氮冷頭作為低溫捕集器，捕集溫度低，維護(hù)簡(jiǎn)單，但使用不便，常見于實(shí)驗(yàn)室里。

在工業(yè)領(lǐng)域，常見的是采用超低溫制冷機(jī)作為低溫捕集器，溫度范圍在-80℃~-145℃，一般分為冷頭和冷阱兩種方式。

超低溫冷頭的方式，優(yōu)點(diǎn)是直接替代液氮冷頭，也正好利用了原設(shè)計(jì)的液氮冷頭的附加真空罐。缺點(diǎn)是液氮冷頭或超低溫冷頭，法蘭接口都是非標(biāo)，需要定制；超低溫冷頭的黑色連接軟管，保溫層相對(duì)不足，會(huì)損失一部分冷量，低溫時(shí)也比較脆弱、嚴(yán)禁移動(dòng)。

超低溫冷阱的方式，不需要附加的真空罐，整機(jī)機(jī)構(gòu)簡(jiǎn)單。從鍍膜腔室，直接連接冷阱即可。不會(huì)有冷量的損失、堅(jiān)固耐用；接口采用真空標(biāo)準(zhǔn)形式KF40或KF50，非常方便可靠，也是真空系統(tǒng)的常規(guī)設(shè)計(jì)方案。

下圖左邊是冷頭的方式，黑色的低溫連接管，低溫時(shí)比較脆弱，有冷量損失。

下圖右邊是冷阱的方式，真空連接比較簡(jiǎn)單可靠，鍍膜腔室à冷阱à真空泵。

下邊的大圖，是選用臺(tái)式冷阱的設(shè)計(jì)示意圖（已批量應(yīng)用）。

在超低溫領(lǐng)域，長(zhǎng)流儀器(Coolium instruments)是一家領(lǐng)先的研發(fā)型企業(yè)，為客戶提供種類繁多的低溫產(chǎn)品。比如最低溫度為-50℃、-80℃、-110℃、-120℃、-135℃、-145℃的標(biāo)準(zhǔn)機(jī)型。同時(shí)也接受各種用戶需求的非標(biāo)定制。

長(zhǎng)流儀器VaporCold超低溫冷阱配套Parylene設(shè)備，已有超過15年的時(shí)間，配套的超低溫冷阱超過500臺(tái)，用戶分布在國(guó)內(nèi)、東南亞、歐洲、北美等市場(chǎng)。

長(zhǎng)流儀器服務(wù)于Parylene設(shè)備，有豐富的經(jīng)驗(yàn)和自信，可為用戶提供多種解決方案。下圖是長(zhǎng)流儀器的部分機(jī)型圖片，包括超低溫冷頭、超低溫冷阱。

* 單壓縮機(jī)自復(fù)疊制冷技術(shù)，降溫快、溫度低、節(jié)能環(huán)保、性能可靠。

* 機(jī)型種類齊全，立式或臺(tái)式、冷頭或冷阱，便于用戶選擇配套。

* 冷頭或冷阱按真空標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行設(shè)計(jì)、制造和測(cè)試，滿足真空技術(shù)要求。

 * 在冷頭或冷阱的低溫表面，部分機(jī)型可選防腐蝕涂層，大大延遲使用壽命。

下邊是一些國(guó)內(nèi)外的應(yīng)用實(shí)例，冷阱形式各異，供大家對(duì)比和參考：